电子束蒸镀用氮化硼坩埚
关键词:
电子束蒸镀用氮化硼坩埚
所属分类:
电子束蒸镀用氮化硼坩埚
- 产品描述
-
典型特性
The typical characteristics
PENSC-T
化学成分
Chemical compositionBN+TiB2+AlN
密度
Densityg/cm3
>3.01
弹性模量
Modulus of elasticityGpa
60-70
抗弯强度 ( 常温)
Flexural StrengthMpa
>150
热膨胀系数(1450℃)
Coefficient of thermal expansion(10-6/K)
4-6
热导率(常温)
Thermal conductivity at 20℃W/mk
100/40
最高使用温度
MAX-Temperature of use空气
oxidizing900℃
真空
vacuum1700℃
惰性气氛
inert2000℃
常温电阻率
RT ResistivityΩ.cm
300-2000

产品特点及优势
●独特工艺配方,优化组成结构,材料具备优异的耐腐蚀性,大大提高使用寿命。
●采用国际先进的真空热压烧结法,材料结构细腻,致密度高,具备优越的物理性能。
● 化学性能稳定,高温下与熔融金属不反应、提高合金纯度。
● 抗氧化性能好,比石墨材料提高400-500摄氏度,使用寿命长。
典型应用
●真空镀铝用导电陶瓷蒸发舟
●高温电子束蒸镀用导电陶瓷坩埚
●光学镀膜设备用坩埚及组件
氮化铝(AlN)陶瓷具有优异的综合性能,是近年来受到广泛关注的新一代先进陶瓷,在多方面都有广泛的应用前景。非常适用于半导体基片和结构封装材料。
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